Übersicht und Zweck

Das Dokument beschreibt einen universellen Messaufbau zur Untersuchung der optischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um ein Messsystem, das auf der optischen Untersuchung von Halbleitern basiert und in einem speziellen Modus mit einem Diodenlaser betrieben wird.

Systemkomponenten und Aufbau

• Kommunikationssystem zwischen Scanner und Computer zur kontinuierlichen Justierung und Kontrolle der Dispersionsparameter.
• Laserquelle mit variabler Wellenlänge (ca. 1 µm) und hoher Stabilität.
• Software zur Steuerung und Unterstützung der Messungen, inklusive Redigieren und Datenaufnahme.
• Scanner mit zwei Wellenlängenbändern und einem Ladegerät.
• Kalibrierungseinheiten für den Versuchsaufbau.

Messprinzip und Funktionsweise

Der Scanner arbeitet automatisch unter Verwendung eines Versuchsaufbaus, der die optische Dispersionsmessung ermöglicht. Die Messung erfolgt horizontal ohne Verschiebung in der oberen Messfläche. Die Daten werden in einem Speicher abgelegt und können über eine drahtlose Kommunikation zwischen Scanner und Computer ausgetauscht werden. Dies erlaubt eine kontinuierliche Aktualisierung der Messergebnisse und eine Steuerung des Geräts.

Messparameter und Leistungsmerkmale

• Maximale Arbeitsbreite des Messsystems beträgt ca. 1 µm.
• Messgenauigkeit ist hoch und stabil über die Messfläche.
• Der Scanner ist mit zwei Wellenlängenbändern und einem Ladegerät ausgestattet.
• Der nicht-drahtlose Scanner wird aktiv und gesteuert über die Disperseinheit.
• Ein Teil des Versuchsaufbaus kann ohne Komplettierung des Aufbaus gemessen werden.
• Wasserbehälter für die Sammlung von Messflüssigkeiten ist auf Anfrage verfügbar.
• Erweiterungen für Hochgeschwindigkeitsmessungen sind möglich und kompatibel mit Hardi- und AL06-Salvador-Scannern.

Kalibrierung und Wartung

Das System beinhaltet Kalibrierungsdienste für den Versuchsaufbau und die Scannerkomponenten. Die Kalibrierungseinheiten sind für den Versuchsaufbau und den Scanner verfügbar, um eine präzise und zuverlässige Messung sicherzustellen.

Zusammenfassung

Das Dokument stellt ein umfassendes Messsystem vor, das speziell für die optische Untersuchung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es kombiniert Hardware- und Softwarekomponenten, um eine präzise, stabile und automatisierte Messung zu gewährleisten. Die drahtlose Kommunikation zwischen Scanner und Computer ermöglicht eine kontinuierliche Kontrolle und Anpassung der Messparameter. Erweiterungen und Kalibrierungsdienste sind verfügbar, um den Anforderungen verschiedener Messaufgaben gerecht zu werden.