概要 : CMSシリーズは、山武のµF（マイクロフロー）センサーを搭載した次世代ガスマ質量流量計で、低コストで高精度かつ広範囲な測定を可能にするように設計されています。温度や圧力の変化に強く、様々なアプリケーションに適しています。

測定原理 : µFセンサーは、ガス流量によって影響を受ける上流（Ru）と下流（Rd）のセンサー間の温度差を測定することでガス流量を検出し、質量速度を計算します。

仕様 : CMSシリーズは、樹脂、アルミニウム、SUS、SUS316モデルなど、異なる材料と接続タイプを持つ様々なモデルが用意されており、異なるガスやアプリケーションに適しています。

用途と注意事項 : 一般的な機械および設備用途向けに設計されています。人命保護、交通管制、航空機、宇宙船、原子炉など、人命の安全に直接関わる用途には適していません。